適切なクリーンルーム用パーティクルカウンターを選択するにはどうすればよいですか?
クリーン ルームで最適なパーティクル カウンターは何ですか?
クリーン ルーム パーティクル カウンター は、粒子のしきい値、コスト、特性によって大きく異なる可能性があります。 パーティクルカウンターが必要かどうか、またはどのタイプのパーティクルカウンターを購入する必要があるかをどのようにして知ることができますか?この記事では、クリーン ルーム用途に最適なパーティクル カウンターを決定するのに役立つパーティクル カウンターの基本と事実について説明します。
パーティクルカウンターとは何ですか?
パーティクル カウンターは、粒子を個別に検出して計数できるデバイスです。 パーティクルカウンターには主にエアロゾル、液体、固体の 3 種類がありますが、クリーン ルームに直接関係するのはエアロゾルパーティクルカウンターのみです。 そこで、それに焦点を当てていきます。 エアロゾル粒子カウンターは、空気中の粒子を数え、そのサイズを測定することで空気の質を判断します。 これらは主にクリーンルーム用途に使用されます。 クリーン ルームには粒子数の制限が定義されているため、エアロゾル粒子カウンターを使用してクリーン ルームをテストおよび分類し、基準を満たしていることを確認します。
パーティクルカウンターの種類
エアロゾル粒子カウンターには、光学式と集光式の 2 つのタイプがあります。 光学式粒子カウンターでは、粒子が高エネルギー光源を通過し、散乱光または遮断された光の振幅を測定して粒子をカウントします。 光学式粒子カウンターには、粒子の検出と測定のための多くのオプションが用意されています。 それらは、シェーディング、光散乱、直接結像です。 光を遮断する方法は、粒子がミクロンよりも大きいときに捕捉できる光の量と、粒子が光源を通過するときに捕捉できる光の量に基づいています。 光散乱技術は、光源を通して方向転換される光の量に基づいて、より小さな粒子を検出できます。 ダイレクト イメージングでは、レーザーからの光を光源として使用し、自動顕微鏡のように通過する粒子を照射し、その面積を測定します。
凝縮粒子カウンター (CPC) とは何ですか?
凝縮粒子カウンターは、まずエアロゾル粒子を膨張させ、過飽和ガス内で液滴を生成するための核生成中心として使用することでエアロゾル粒子を計数します。 凝縮粒子計数器は 2 nm の粒子を測定できますが、光学式粒子計数器は測定できません。 パーティクルカウンターにはさまざまなサイズがあります。 ハンドヘルドフォーム、小型でポータブルなスタンドアロンモデルがあります。 手動パーティクルカウンターは通常、流量が低いため、クリーンルームでのサンプルテストや小規模な空気の認証に最適です。 大型のポータブル デバイスが固定された場所に設置され、24 時間年中無休で空気を監視します。 これらのポータブル デバイスは流量が大きいため、大量の空気をサンプリングするのに最適です。
パーティクル カウンタを選択する際の考慮事項
1 つ目は、監視する必要がある粒子サイズです。 これはクリーンルームの ISO 評価によって決まります。 表示された粒子カウンターが、監視する必要があるすべての粒子サイズを測定していることを確認してください。 たとえば、粒子カウンターのサイズ範囲は 0 です。3/0。5/5。0メートル。
粒子の逆流と位置検出
2 番目の要素はパーティクルカウンターの流れです。 これを行うには、次の式が必要です: Vs = 20 / Cnm) x1000。 Vs は、場所ごとの単一サンプルの最小サイズです。 Cnm は、クリーン ルーム グレードに割り当てられる最大サイズ グレード制限です。 20 は、クリーン ルーム カテゴリでカウントできる粒子の事前定義数です。 クリーンルーム内に送り込む必要がある空気のリットル数を計算します。 たとえば、グレード 4 のクリーン ルームが必要な場合、最大粒子サイズは 1 です。ISO 14644-1 クリーン ルーム基準によれば、最大濃度は 0 m、最大濃度は 83 粒子/m3 です。 これを式 Vs = (20/83) x 1000 および Vs = 240 に挿入します。96. したがって、240です。96 リットルの空気を除去する必要があります。 したがって、流量が 1 メートルあたり 2 リットルの小型の手持ち式パーティクルカウンターを選択した場合、空気のサンプリングには約 120 分または 2 時間かかります。 したがって、この例では、より高い流量を備えた、より大型のポータブル粒子計数器を見つけることをお勧めします。
